H7130型四探針電阻率測(cè)試儀嚴(yán)格按照硅片電阻率測(cè)量的際標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及家標(biāo)準(zhǔn)*制，并針對(duì)目前常用的四探針電阻率測(cè)試儀存在的問題加以改。整套儀器有如下點(diǎn)： 1、配有雙數(shù)字表：塊數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí)，另塊數(shù)字表適時(shí)監(jiān)測(cè)過程中的電流變化，使操作更簡便，測(cè)量更。 數(shù)字電壓表量程：0—199.9mV 靈敏度：100μV 輸入阻抗：1000ΜΩ 基本誤差±（0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%滿度） 2、可測(cè)電阻率范圍：10—3 —1.9×103Ω·cm。 可測(cè)方塊電阻范圍：10—2 —1.9×104Ω/□。 3、設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零能，當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測(cè)量電流流過時(shí)，電壓表零，只有1、4探針接觸到硅片，測(cè)量電流渡過單晶時(shí)，電壓表才示2、3探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。 4、流經(jīng)硅片的測(cè)量電流由度穩(wěn)定（分之五精度）的制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機(jī)測(cè)量精度＜3%。 電流量程分五檔：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。 5、儀器采用觸點(diǎn)電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器（＞10次），在緣電阻、電流容量方面留有更大的安系數(shù)，提了測(cè)試儀的可靠性和使用壽命。 6、四探針頭采用際上的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，使探針的游移率減小，測(cè)量重復(fù)性提
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