解析勻膠機原理材質的選擇

從其原理來說，勻膠機有以下兩個特點。

（1）旋轉速度

轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對于要求*涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。轉速控制方面有際認定標準，如美NIST標準等。

（2）真空吸附系統

真空泵般采用無油泵，即通常說的干泵，因為何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況，還會讓滴的膠液不慎入真空管道系統成堵塞。有的勻膠機通過聯動機制，當真空吸附力不夠時不會開始旋轉。這樣可有效避免滴的膠液不慎入真空管道系統。

勻膠機勻膠機

該勻膠機的術參數：

Speed Ⅰ調速范圍：500～2500 r/min；

Timer Ⅰ勻膠時間：0～18 s；

Speed Ⅱ轉速范圍：800～8000 r/min；

Timer Ⅱ勻膠時間：0～60 s；

轉速穩定度：±1%；

電機率：40 W；

被鍍物質尺寸：Φ12～Φ100mm。 [3]

材質的選擇

對于半導體化行業的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質，因為這種材質的成本很低，不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。例如美等型號都是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯（特氟隆，PTFE）材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點